新闻中心
蔡司电镜加速电压的选择:并非电压越高越好发布日期:2023-02-16 14:16:00
扫描电子显微镜的工作条件包括很多,如加速电压、束斑、工作距离、孔径大小、明暗对比度、检测器选择等。本期将介绍加速电压的选择。对于任何扫描电子显微镜,加速电压越高,分辨率越高,但并不意味着电压越高,对任何样品就越好。在电子显微镜的各种工作条件中,电压的选择是最重要的一项。需要考虑的因素是多种多样的,各种因素之间也存在着矛盾。这时就需要适当综合考虑或采用其他方法。 ①样品损坏和带电因素所选择的加速电压不能对样品造成明显的辐射损伤或带电,否则观察到的图像不是样品的真实形状。如果有电荷产生,需要将电压降到V2以下,在前面的电荷效应中已经详细说明,这里不再赘述。对于金属等导电导热性好的样品,可以使用更高的电压进行观察,如10kV及以上;对于一些导电性不是很好但比较稳定的样品,可以使用中等的加速电压,比如5kV左右;对于一些容易损坏的样品,如高分子材料、生物材料等,可能需要较低的电压,如2kV或以下。 ② 电子产率对于单相材料,因为没有成分差异,我们可以选择电子产额最大的区间V1~V2,但是对于混相材料,我们希望同时能够有更好的成分对比。这样的图片对比度更好,信息量最大。我们常常认为这样的画面是最清晰的。因此,我们需要选择二次电子产率差异较大的区域进行拍摄。如图5-13所示,左图为碳和金的二次电子产率,中图为1kV时金粒子的二次电子像,右图为200V时的二次电子像。显然,在200V时,碳和金的产率是一样的,所以此时拍摄的图像只是形态上的差异,无论你如何调整明暗对比,都不会出现碳和金的成分差异.在 1kV 时,碳与金的电子产额差异达到最大,因此除了形貌此外,它还表现出出色的构图对比度。
金和碳在电子产率(左)和 1kV(中)和 200V(右)下的 SE 图像对于一些金属材料,在较高的加速电压下电子产率差异较大,而对于一些原子序数较低的样品,较低的电压往往会产生较大的电子产率差异。样品是碳银混合材料。左图为 5kV SE 图像,右图为 20kV SE 图像。 5kV不仅能比20kV表现出更好的构图反差,细节表现也更好。

碳银混合材料在5kV(左)和20kV(右)下的SE图如图所示,样品为铜包铝线截面,左图为5kV SE图像,右图为20kV SE图像。在20kV以下,可以更好地区分外圈铜层和内圈铝层。图5-15 5kV(左)和20kV(右)铜包铝线截面SE图 电压也可以区分。当然,有些收益率没有参考曲线,需要多次尝试才能找到。


例如,在图中,样品是掺杂半导体衬底上的本征半导体薄膜,电子产率的差异在1kV时达到最大值。 1kV对应的图像可以区分两层膜,其他电压就没那么好了。对比。